Elektronska tehnologija obdelave polprevodnih odpadnih voda

Vrste odpadnih voda
Ker so končni produkti polprevodništev različni, so različne vrste odpadnih voda, ki nastajajo v proizvodnem procesu vsakega podjetja, različna pa je tudi razvrstitev virov odpadnih voda, ki jih proizvaja posamezno podjetje. Skupaj lahko odpadne vode v polprevodni industriji razdelimo na odpadne vode, ki vsebujejo fluor, odpadne vode, ki vsebujejo fosfor, organske odpadne vode, mlete odpadne vode, amoniakovo dušikovo odpadne vode in odpadne vode iz kislih baz.

Vir odpadne vode
Odpadne vode, ki vsebujejo fluor, izvirajo predvsem iz postopka difuzije in kemičnega mehanskega brušenja v procesu izdelave čipov. Tudi hidrofluorovodikova kislina se večkrat uporablja v postopku čiščenja silicijevih retinih in sorodnih pripomočkov. Močno destruktivno vpliva na sluznice, zgornji dihalni trakt, oči in kožna tkiva. Onesnaževala so predvsem fluoridni ioni.
Odpadne vode, ki vsebujejo fosfor, izvirajo predvsem iz aluminijaste raztopine za jedkanje v proizvodnem inženiringu.
Zaradi različnih proizvodnih procesov ima količina organskih topil, ki se uporabljajo v polprevodni industriji, velika vrzel. Kot čistilna sredstva pa se ekološka topila še vedno pogosto uporabljajo v vseh vidikih proizvodne embalaže. Del topila postane izpust organskih odpadnih voda. Ekološke odpadne vode izvirajo predvsem iz IPA topila, razvijalca, raztopine za jedkanje ITO, odpadnih voda iz kislih baz iz kumark in organskih odpadnih voda iz kumarikanih stolpov. Brušenje odpadnih voda izvira predvsem iz postopka čiščenja po razrezu in poliranju voskov. Glavna onesnaževala so suspendirana trdna snov. Amonia dušikova odpadne vode večinoma izvira iz vode amonijaka in amonijevega fluorida, ki se uporablja v procesu jedkanja in čiščenja z vodo visoke čistosti. Odpadne vode iz kisle baze izvirajo predvsem iz postopka čiščenja v proizvodnem procesu; backwash voda večmedijskega filtra in aktiviranega ogljičnega filtra v sistemu čiste vode, čistilna voda po regeneraciji mešanega ležišča; odtok hladilnega stolpa.

Tehnologija obdelave odpadnih voda
Fluorirana obdelava odpadnih voda
Tehnologija obdelave odpadne vode, ki vsebuje fluor, je predvsem kemična padavina + koagulacijo padavinska metoda, torej dodajanje kemikalij, da tvorijo fluorid padavine ali fluorid adsorbirajo v tvorjeni padavini in so-precipitacija, in nato ločevanje trdne padavine za odstranitev fluora. zadeva. V polprevodni industriji dodajanje Ca(OH)2 ali mešanice naOH in CaCl2 povzroči padavine netopnega CAF2. Zaradi visokih okoljskih zahtev polprevodnih tovarn, caCl2 pogosto uporabljamo kot reakant. Kemična reakcija padavin CaCl2 je:
2F + Ca2+ → CaF2.
Pri stoihiometrični koncentraciji kalcija je teoretična največja topnost kalcijevega fluorida približno 8 mg/l. Zato koncentracije kalcijevega fluorida, ki presegajo to mejo topnosti, povzročijo padavine. Na splošno se čas bivanja šteje za 0,5 h. Pomanjkljivost padavin CaF2 je v tem, da ima usedlina slabe sedimentacijske lastnosti, zato se po kemičnih padavinah na splošno dodajo koagulanti (PAC in PAM), ki dodatno tvorijo večjo padavino, na koncu pa se usedlina odstrani v sedimentacijskem rezervoarju. Če je dodan presežek vate ali CaCl2, se koncentracija fluorida lahko dodatno zmanjša. Običajno je fluorin meter nastavljen v reakcijski rezervoar za nadzor odmerek kalcija.

Obdelava fosforjevih odpadnih voda
Obdelava odpadnih voda, ki vsebujejo fosfor, se uporablja predvsem s kemično metodo padavin in biološko metodo. Večina proizvodne obdelave se uporablja za obdelavo organskih fosfornih odpadnih voda. Odpadne vode, ki vsebujejo fosfor, ki nastajajo v polprevodni industriji, večinoma obstajajo v obliki fosfata, ki se obdela s kemično metodo padavin. Sredstvo za precipitacije sprejme kalcije ali aluminijasto sredstvo. Metoda, ki jo uporabljamo, je, da najprej oborimo fosfat s CaCl2, nato pa dodamo PAC za koagulacijo.
Reakcijska formula CaCl2 in PO43- je:
Ca2++ PO43-→ Ca3(PO4)2.
Teoretična topnost kalcijevega fosfata je približno 20 mg/L. Nadaljnja koagulacijska obdelava dodatno tvori večje usedline, ki se končno odstranijo v sedimentacijskem rezervoarju. Reakcija se na splošno izvaja pod pogojem, da se pH nadzoruje pri 8-10.

Ekološka obdelava odpadnih voda
Obstaja veliko načinov obdelave organskih odpadnih voda, kot so metoda aktiviranega blata, metoda biofilma, MBR membranska metoda itd. Trenutno za zdravljenje uporabljamo predvsem metodo kontaktne oksidacije, anaerobno + aerobno metodo zdravljenja. Ta metoda ima stabilen učinek zdravljenja in nizke naložbe, in je naklonjena lastnikom.

Mletje obdelave odpadnih voda
Glavna onesnaževala v mletih odpadnih vodah so trdne snovi, vendar so ti trdni delci majhni in jih je težko oboriti. Na splošno se premer delcev poveča s koagulacijo, da se delci lažje poravnajo.

Amonia nitrogen odpadne vode
Metode obdelave amoniakovih dušikovih odpadnih voda vključujejo metodo odstranjevanja, metodo prelomnice klora, biološko metodo, metodo nevtralizacije, metodo padavin, metodo izmenjave iona in metodo parnega odstranjevanja. Metoda odstranjevanja, ki se uporablja za obdelavo visoko koncentracijskih amoniakovih dušikovih odpadnih voda, ima prednosti preprostega procesa, stabilnega učinka obdelave, nizkih stroškov izgradnje kapitala in stroškov delovanja ter ima močno praktičnost. Ko je koncentracija amoniakovih dušikovih odpadnih voda relativno visoka (več kot nekaj sto), se koncentracija amonijevega dušika zmanjša na pod 100 mg/L z metodo odstranjevanja, izvlečen amonijev dušik pa se absorbira s kislinsko dodajanje v amonijev sulfat in odpošlja. Odpadne vode amoniakovega dušika v polprevodni industriji so nizke vsebnosti ogljika, biokemična metoda pa ni primerna. Metoda odstranjevanja in metoda padavin sta primerna za visoko koncentracijo amonikovih dušikovih odpadnih voda. Metoda nevtralizacije ne more popolnoma odstraniti onesnaževanja amoniakovega dušika in iz odpadne vode izgnati dušika amonijaka, vendar ga je treba opremiti z dodatnim absorpcijskim stolpom za absorpcijo, kar je razmeroma visoka naložba za projekte z majhno zmogljivostjo obdelave. Nekatere polprevodničke imajo majhno količino amoniakovih dušikovih odpadnih voda in nizko koncentracijo. Ko je koncentracija 100-200 mg/L, se amoniakovo dušikovo odpadne vode obdela z metodo razčlenitev klora. Ta metoda zahteva nizke naložbe, majhen odtis in relativno preprosto opremo. Merilnik klora je nastavljen v reakcijski posodi za nadzor doziranja klora in reduciranega sredstva.

Odpadna voda iz kisle baze
Način obdelave odpadnih voda s kislinsko bazo je zelo preprost, metoda nevtralizacije s kislinsko bazo lahko izpolnjuje zahteve, pH v reakcijski posodi pa je mogoče nadzorovati, da je 6-9, da bi izpolnili standard odvajanja. PH meter je nastavljen v reakcijski posodi za nadzor doziranje kemikalij.

https://www.biocell-enviro.com/